深圳中圖儀器SJ5100系列光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)品牌采用的光柵式大量程接觸式測(cè)量方式，能夠測(cè)量及檢定精密量具、精密量規(guī)，如塊規(guī)、環(huán)塞規(guī)、卡規(guī)、螺紋規(guī)、花鍵規(guī)、表類、尺類。還可以檢測(cè)各種精密工件內(nèi)外尺寸，如齒輪、花鍵、校對(duì)棒、非標(biāo)量規(guī)等。

產(chǎn)品描述
SJ5100系列光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)品牌通過高精密研磨導(dǎo)軌測(cè)量頭座移動(dòng)的高穩(wěn)定性及直線度，采用進(jìn)口光柵測(cè)量系統(tǒng)記錄長(zhǎng)度方向坐標(biāo)，由計(jì)算機(jī)將光柵數(shù)據(jù)與測(cè)力裝置、溫度傳感器的反饋數(shù)據(jù)及阿貝誤差數(shù)據(jù)修正后進(jìn)行數(shù)據(jù)合成（由于導(dǎo)軌較高的直線度，因此阿貝修正造成的儀器誤差?。?。按被測(cè)件參數(shù)的相關(guān)定義及公式進(jìn)行分析，計(jì)算獲得相關(guān)長(zhǎng)度參數(shù)。
光柵測(cè)長(zhǎng)儀整個(gè)測(cè)量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動(dòng)生成結(jié)果及記錄報(bào)表。

產(chǎn)品功能
1、標(biāo)配功能：
檢測(cè)量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；
光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；
螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）
螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；
光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm
千分尺校對(duì)桿：25~300mm；
塞尺：0.02~1mm
針規(guī)：φ0.1~φ10mm
三針：0.118~6.585mm；
兩點(diǎn)內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：
小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；
螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；
光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；
光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長(zhǎng)度10~100mm）；φ60~φ200mm（長(zhǎng)度≤50mm）；
螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；
螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長(zhǎng)度10~100mm）；M60~M200mm（長(zhǎng)度≤50mm）；
鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；
花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標(biāo)準(zhǔn)齒輪（跨棒距測(cè)量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；
外徑千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：25~300mm；
數(shù)顯及游標(biāo)卡尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：75~300mm；
深度千分尺示值誤差手動(dòng)校準(zhǔn)：0~25、25~50、50~75mm；
三爪內(nèi)徑千分尺手動(dòng)校準(zhǔn)：φ6~φ200mm；
表類（百分表、千分表、杠桿表手動(dòng)校準(zhǔn)）；
數(shù)顯半徑規(guī)手動(dòng)校準(zhǔn)：R5~R700mm；
軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長(zhǎng)度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測(cè)量；

性能特點(diǎn)
1. 全程直接測(cè)量：
SJ5100系列1m光柵測(cè)長(zhǎng)機(jī)采用進(jìn)口長(zhǎng)玻璃光柵尺作為長(zhǎng)度方向定位，可進(jìn)行全行程直接測(cè)量。
2. 、高穩(wěn)定性：
1)光柵測(cè)量系統(tǒng)，分辨力達(dá)到0.01μm，測(cè)量精度高；
2)精密研磨導(dǎo)軌系統(tǒng)導(dǎo)軌直線度高，材料耐磨性好、系統(tǒng)穩(wěn)定可靠的工作；
3)進(jìn)口特殊材料制作的高剛性、無(wú)變形測(cè)桿，測(cè)試數(shù)據(jù)的真實(shí)采集；
4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)了儀器在頭座及工作臺(tái)在測(cè)量移動(dòng)過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動(dòng)干擾小，儀器的長(zhǎng)期穩(wěn)定可靠性；
5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動(dòng)結(jié)構(gòu)，移動(dòng)摩擦驅(qū)動(dòng)力小，了頭座移動(dòng)過程中的穩(wěn)定性。
3. 雙向恒測(cè)力：
1) 特殊傳感器雙向恒測(cè)力系統(tǒng)，減小了測(cè)力對(duì)測(cè)量結(jié)果的影響，了高的系統(tǒng)測(cè)量精度；
2) 測(cè)力較大范圍的連續(xù)可調(diào)；
3) 非砝碼加載，測(cè)力傳感器原理避免了儀器臺(tái)面不水平及周圍環(huán)境振動(dòng)帶來(lái)的測(cè)力誤差。
4. 智能化管理與檢測(cè)軟件系統(tǒng)：
1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡(jiǎn)便；
2)十多年積累的實(shí)用軟件設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)，向客戶提供簡(jiǎn)潔、實(shí)用、便捷的操作體驗(yàn)；
3)集成眾多長(zhǎng)度標(biāo)準(zhǔn)、規(guī)程，功能強(qiáng)大、自動(dòng)處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢測(cè)報(bào)告，自動(dòng)顯示、打印、保存、查詢檢測(cè)記錄；
4)測(cè)量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長(zhǎng)度參數(shù)測(cè)量；
5)軟件配備快速找拐點(diǎn)指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測(cè)件的拐點(diǎn)；
6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國(guó)內(nèi)用戶服務(wù)；
7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢測(cè)操作時(shí)間；
8)本儀器采用計(jì)算機(jī)大容量數(shù)據(jù)庫(kù)儲(chǔ)存，可自動(dòng)記錄保存所有檢測(cè)結(jié)果。
5. 方便快捷的儀器操作體驗(yàn)：
1)測(cè)帽無(wú)需調(diào)節(jié)，測(cè)帽加工保障測(cè)量精度，直接安裝即可使用；
2)螺紋塞規(guī)測(cè)量三針帶支板，配合儀器測(cè)帽可快速的進(jìn)行螺紋塞規(guī)的中徑測(cè)量；
3)支持客戶使用模糊搜索量規(guī)標(biāo)準(zhǔn)，并支持用戶特殊規(guī)格量規(guī)自動(dòng)計(jì)算公差帶。
6. 五軸工作臺(tái)：
1)X，Y，Z三軸采用交叉滾子導(dǎo)軌：摩擦力小，穩(wěn)定性好，承載高；
2)Y軸平移、傾斜、水平旋轉(zhuǎn)設(shè)計(jì)了高調(diào)節(jié)細(xì)度的結(jié)構(gòu)，方便客戶更好地找到三個(gè)軸的拐點(diǎn)；
3)Z軸及Y軸可配置數(shù)顯表，可將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)測(cè)量及螺紋螺距觀察。
7. 內(nèi)尺寸測(cè)量裝置：
配置環(huán)規(guī)內(nèi)測(cè)裝置，可測(cè)量小M3螺紋環(huán)規(guī)（根據(jù)選配測(cè)針），同時(shí)可完成小（φ0.8mm）光滑環(huán)規(guī)檢測(cè)（選配測(cè)針）；測(cè)量力為電子測(cè)力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測(cè)力大?。筛鶕?jù)客戶需求定制更小測(cè)力）。

環(huán)境條件
參考校準(zhǔn)/使用環(huán)境溫濕度：
溫度：20±2℃，波動(dòng)不超過0.5℃/小時(shí)
相對(duì)濕度：10~70%。
振動(dòng)：按照三坐標(biāo)振動(dòng)要求標(biāo)準(zhǔn)，振動(dòng)速度均方根≤5um/s，振動(dòng)頻率8~100Hz；
校準(zhǔn)室內(nèi)應(yīng)無(wú)影響測(cè)量的灰塵、震動(dòng)、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強(qiáng)磁場(chǎng)。

主營(yíng)產(chǎn)品: 閃測(cè)儀,一鍵式測(cè)量?jī)x,圖像尺寸測(cè)量?jī)x,二次元

深圳市中圖儀器股份有限公司成立于2005年，致力于全尺寸鏈精密測(cè)量?jī)x器及設(shè)備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。 中圖儀器堅(jiān)持以技術(shù)創(chuàng)新為發(fā)展基礎(chǔ)，擁有一支集光、機(jī)、電、信息技術(shù)于一體的技術(shù)團(tuán)隊(duì)，歷經(jīng)20年的技術(shù)積累和發(fā)展實(shí)踐，研發(fā)出了基礎(chǔ)計(jì)量?jī)x器、常規(guī)尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、微觀尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、大尺寸光學(xué)測(cè)量?jī)x器、常規(guī)尺寸接觸式測(cè)量?jī)x器、微觀尺寸接觸式測(cè)量?jī)x器、行業(yè)應(yīng)用檢測(cè)設(shè)備等全尺寸鏈精密儀器及設(shè)備，能為客戶提供從納米到百米的精密測(cè)量解決方案。 中圖儀器的銷售和服務(wù)網(wǎng)點(diǎn)遍及全國(guó)三十多個(gè)省、市、自治區(qū)，產(chǎn)品歐、美、東南亞等海外市場(chǎng)，堅(jiān)持為客戶提供的產(chǎn)品和服務(wù)。 中圖儀器還將繼續(xù)專注于精密測(cè)量檢測(cè)技術(shù)的發(fā)展，自強(qiáng)不息、知難而上、勇于創(chuàng)新，為中國(guó)制造技術(shù)的快速發(fā)展貢獻(xiàn)力量！

在晶圓制造前道過程的不同工藝階段點(diǎn)，往往需要對(duì)wafer進(jìn)行厚度（THK）、翹曲度（Warp）、膜厚、關(guān)鍵尺寸（CD）、套刻（Overlay）精度等量測(cè)，以及缺陷檢測(cè)等；用于檢測(cè)每一步工藝后wafer加工參數(shù)是否達(dá)到設(shè)計(jì)標(biāo)準(zhǔn)，以及缺陷閾值下限，從而進(jìn)行工藝控制與良率管理。半導(dǎo)體前

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