電子工業(yè)半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體芯片制造過程中，氫氣被廣泛應(yīng)用于多個(gè)環(huán)節(jié)。例如，在硅片的清洗工藝中，氫氣等離子體可用于去除硅片表面的雜質(zhì)和氧化物，硅片表面的清潔和活性。在化學(xué)氣相沉積（CVD）工藝中，氫氣作為載氣和反應(yīng)氣體，參與薄膜的生長(zhǎng)過程，有助于提高薄膜的質(zhì)量和性能。

管道運(yùn)輸適合大規(guī)模、長(zhǎng)距離運(yùn)輸，但初期建設(shè)投資大；高壓氣態(tài)拖車運(yùn)輸靈活性高，但運(yùn)輸量有限，且隨著運(yùn)輸距離增加，成本上升明顯提純與凈化環(huán)節(jié) 雜質(zhì)含量 不同工業(yè)生產(chǎn)對(duì)氫氣純度要求不同。若原料氣中雜質(zhì)含量高，提純工藝復(fù)雜，成本增加。

通過對(duì) MOFs 的結(jié)構(gòu)進(jìn)行設(shè)計(jì)和優(yōu)化，可提高其對(duì)氫氣的吸附能力和吸附熱，從而提高儲(chǔ)存效率。同時(shí)，MOFs 的合成方法不斷改進(jìn)，逐漸降低了生產(chǎn)成本。例如，采用溶劑熱法、微波輔助合成法等合成方法，可縮短合成周期、降低能耗，進(jìn)而降低材料成本。

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