無塵室內(nèi)，區(qū)域及接觸面的潔凈度希望能夠按照對(duì)產(chǎn)品及生產(chǎn)過程的影響程度進(jìn)行分類，制定相關(guān)的分類標(biāo)準(zhǔn)和對(duì)應(yīng)的清潔標(biāo)準(zhǔn)，并按照不同類別有針對(duì)性的進(jìn)行清潔。

真空清掃是粗清掃和普通清掃常用的，一般區(qū)域和區(qū)域清掃中重要的步。真空清掃是水+拖把清掃的前提，對(duì)除去大顆粒異物，玻璃碎屑效果明顯，但是并不能取代水+拖把清掃。真空清掃請(qǐng)務(wù)必按同一方向進(jìn)行，以免造成地面及作業(yè)員周圍空氣亂流。真空清掃使用HEPA（濾網(wǎng)）、ULPA（低效濾網(wǎng)）及真空除塵器。如果有可吸入液體的真空吸濕器，在拖地時(shí)和拖完后，地面上剩余的水或浮游顆?？杀蝗コ鸬礁稍镒饔谩?br/>
墻壁、門、送風(fēng)口、窗、側(cè)面
在單一方向氣流的無塵室內(nèi)，產(chǎn)品生產(chǎn)作業(yè)時(shí)不要清掃送風(fēng)口附近區(qū)域，要在停止作業(yè)時(shí)或產(chǎn)品移出該區(qū)域后，再或者將產(chǎn)品覆蓋保護(hù)之后再進(jìn)行清掃。采取真空吸入的方式和特殊的地方加上拖把清掃的清潔方式。具體方法根據(jù)潔凈度要求而定。非單一方向氣流的無塵室內(nèi)，好在沒有生產(chǎn)作業(yè)時(shí)再進(jìn)行清潔。

機(jī)械設(shè)備有很多供輸管道、電線和連接部位，清掃時(shí)要注意檢查管道和電線的破損情況，斷開電源之后再進(jìn)行清掃，防止危險(xiǎn)的發(fā)生。機(jī)械設(shè)備有很多與產(chǎn)品直接接觸的接觸面，好進(jìn)行等級(jí)劃分，根據(jù)潔凈度等級(jí)要求選擇合適的清掃方式，并對(duì)不同等級(jí)區(qū)域進(jìn)行標(biāo)示，方便清掃正確進(jìn)行。
a)設(shè)備的外表面跟無塵室內(nèi)的潔凈度是一致的。同墻壁、水平面、垂直面一起按照合適的順序清掃。
b)設(shè)備的內(nèi)表面分為設(shè)備內(nèi)壁和內(nèi)部設(shè)備接觸面。內(nèi)壁將重要的產(chǎn)品生產(chǎn)區(qū)域隔離開，內(nèi)壁的清掃應(yīng)該在內(nèi)部設(shè)備接觸面清潔之后再進(jìn)行清潔。內(nèi)部設(shè)備接觸面的清掃除了要清潔之外還要定期保養(yǎng)維護(hù)。
c)與產(chǎn)品接觸的接觸面是離產(chǎn)品近的地方，因此有產(chǎn)品在時(shí)不可按照清掃順序及流程進(jìn)行，需根據(jù)潔凈度要求進(jìn)行，并以文件方式規(guī)定。

根據(jù)無塵室的用途，在需要的場(chǎng)合采用表面處理溶劑，這種處理劑，對(duì)無塵室內(nèi)的產(chǎn)品有一定的保護(hù)作用，清潔完成后就不要再使用處理溶劑了。溶劑效果會(huì)隨著時(shí)間的變化而減弱，降低無塵室的清潔度。使用這種處理劑，不能持續(xù)管理的話，就會(huì)有設(shè)備、產(chǎn)品污染的風(fēng)險(xiǎn)。所以使用時(shí)，要定期的對(duì)無塵室進(jìn)行檢查實(shí)驗(yàn)，確保無塵室不被污染。如果處理劑效果變?nèi)?，潔凈度降低，需要馬上采取改善對(duì)策。

清掃人員需要進(jìn)行必要的培訓(xùn)。各工站有的人員進(jìn)行清掃。的人員，經(jīng)過培訓(xùn)之后負(fù)責(zé)清掃工作也是很普遍的事情。

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