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氧化鋁微粒是拋光液中的主要成分,其顆粒大小決定了拋光液的磨料性能。較小的顆??商峁└?xì)膩的拋光效果,而較大的顆粒則適用于粗糙表面的拋光。此外,氧化鋁微粒還具有高硬度和耐磨性,能夠有效去除表面的劃痕和瑕疵。
優(yōu)點:
1.懸浮性好,不易沉淀,使用方便。
2.顆粒分散均勻,不團聚,軟硬度適中,有效避免拋光過程中由于顆粒團聚導(dǎo)致的工件表面劃傷缺陷。
3.運用拋光過程中的化學(xué)新作用,提高拋光速度,改善拋光表面的質(zhì)量。
4.分散性好、乳液均一,程度提升拋光速率的同時降低微劃傷的概率,可以提高拋光精度。
5.無粉塵產(chǎn)生,關(guān)注環(huán)保和人體健康安全。
氧化鋁拋光液是一種以多晶氧化鋁為主,氧化鋁顆粒大小均勻,相比氧化硅拋光液加工效率提高約3-4倍,成本節(jié)約30-50%,加工流程縮短,且不會在工件表面上形成硅元素結(jié)晶,減少清洗成本。
化學(xué)機械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術(shù)具有特的化學(xué)和機械相結(jié)合的效應(yīng),是在機械拋光的基礎(chǔ)上,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應(yīng)的化學(xué)試劑,從而達到增強拋光和選擇性拋光的效果?;瘜W(xué)機械拋光液的性能是影響化學(xué)機械拋光質(zhì)量和拋光效率的關(guān)鍵因素之一。拋光液一般包含氧化劑、絡(luò)合劑、表面活性劑、磨料、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會產(chǎn)生很大的影響。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對碳化硅晶圓表面無損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長、易清洗、通用性好等特點,適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光。
氧化鋁拋光液具有以下性能:
1、晶相穩(wěn)定、硬度高、顆粒小且分布均勻,懸浮穩(wěn)定性好;
2、磨削力強、拋光快、光度亮、鏡面效果好;
3、研磨,拋光效果好,研磨效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)二氧化硅等軟質(zhì)磨料,表面光潔度優(yōu)于白剛玉的拋光效果,切削力強、出光快、能拋出均勻而明亮的興澤。
4、適用范圍廣,拋光后容易清洗。
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金相制樣耗材系列,針對航空、航天、汽車、兵器、冶金、鍋爐、熱處理、檢測機構(gòu)及專業(yè)院校等行業(yè),公司先后開發(fā)出多種系列金相切割片,高效金相拋光劑、金剛石懸浮研磨液、金相鑲嵌料、金剛石研磨膏、金相研磨砂紙、氧化鋁拋光液、金相拋光織物及金相專用拋光粉等產(chǎn)品。
精密切割機系列:針對金屬、電子元件、陶瓷材料、晶體、巖樣、礦樣、混凝土、有機材料、生物材料(齒、骨)等材料進行精密的無變形切割,提供高速精密切割機,金相精密切割機,低速精密切割機等產(chǎn)品。
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