起初廣泛使用的厚度測(cè)量工具是卡尺、螺旋測(cè)微器、測(cè)厚表等,但隨著科技的進(jìn)步、社會(huì)的發(fā)展,常用的測(cè)厚方法有射線測(cè)厚法、超聲波測(cè)厚法、光學(xué)測(cè)厚法、機(jī)械測(cè)厚法等,雖然厚度檢測(cè)方法眾多,但從綜合程度上看,在線測(cè)厚系統(tǒng)更多的還是采用激光測(cè)厚儀。
激光測(cè)厚儀一般是由兩個(gè)激光位移傳感器上下對(duì)射的方式組成的,上下的兩個(gè)傳感器分別測(cè)量被測(cè)體上表面的位置和下表面的位置,通過(guò)計(jì)算得到被測(cè)體的厚度。激光測(cè)厚儀的優(yōu)點(diǎn)在于它采用的是非接觸的測(cè)量,相對(duì)接觸式測(cè)厚儀更,不會(huì)因?yàn)槟p而損失精度。相對(duì)超聲波測(cè)厚儀精度更高。相對(duì)X射線測(cè)厚儀沒(méi)有輻射污染。
薄膜測(cè)厚儀根據(jù)程序預(yù)先設(shè)定的計(jì)算公式,通過(guò)組合不同的標(biāo)樣厚度并將其置于射線下測(cè)量,以得到一組基準(zhǔn)數(shù)據(jù),并存于PLC中。
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