探針結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)(如針形)作為半導(dǎo)體試驗(yàn)設(shè)備的關(guān)鍵部件、針頭材料(如鎢、鷸銅)、彈性大小等都會(huì)影響探針的穩(wěn)定性、細(xì)微性、信號(hào)傳導(dǎo)精度等,從而影響探針的測試精度。
由于半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程十分復(fù)雜,任何一個(gè)環(huán)節(jié)出現(xiàn)錯(cuò)誤都可能導(dǎo)致大量產(chǎn)品質(zhì)量不合格,甚至對(duì)終的應(yīng)用產(chǎn)品的性能產(chǎn)生重大影響。因此,測試在半導(dǎo)體產(chǎn)品的生產(chǎn)過程中具有非常重要的地位,貫穿于半導(dǎo)體產(chǎn)品的設(shè)計(jì)、制造、包裝和應(yīng)用的整個(gè)過程中。
探針的要求
(1)質(zhì)量問題:在使用過程中應(yīng)定期進(jìn)行質(zhì)量檢查。探針的質(zhì)量差會(huì)導(dǎo)致測量誤差增大,嚴(yán)重時(shí)可能會(huì)損壞實(shí)驗(yàn)設(shè)備。
(2)加工工藝問題:在探針的制作過程中,要探針的形狀、尺寸的與穩(wěn)定。
(3)使用注意事項(xiàng):避免在測量過程中引入空氣,勿使用有陷進(jìn)、連續(xù)的探針以免擾動(dòng)測量,對(duì)于使用多個(gè)探針進(jìn)行測量的情況要確保探針之間的長度和間距足夠。
(4)存儲(chǔ)和保養(yǎng)問題:盡可能地存儲(chǔ)環(huán)境無除塵、避光性好;探針表面不能有刮傷等損壞,使用前應(yīng)清洗干凈且消毒處理。
在收集到的鍍金探針廢料中,可能包含其他金屬和非金屬雜質(zhì)。因此,分揀是必要的步驟,以便將廢料分類和分離。分揀可以通過人工或自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行。人工分揀需要經(jīng)過培訓(xùn)的工作人員,他們根據(jù)廢料的類型和特征進(jìn)行分類。自動(dòng)化設(shè)備可以通過傳感器和圖像識(shí)別技術(shù)自動(dòng)分揀廢料。
物理處理主要包括粉碎和篩分。,廢料被送入粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎,使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后,顆粒通過篩網(wǎng)進(jìn)行分級(jí),分離出不同粒度的廢料。
化學(xué)處理是提取金屬價(jià)值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來。