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在該爐工作前,由設(shè)于排氣口 13上的真空泵將爐內(nèi)空氣排盡,然后從 該爐上端充入。工作時(shí),爐內(nèi)的石英坩堝上方不斷有一氧化硅和粉塵 雜質(zhì)生成,因此在不斷充入的同時(shí),所述真空泵同時(shí)將一氧化硅、粉 塵雜質(zhì)與等的混合氣體排出,其中,氣體的流動(dòng)過(guò)程為從石英坩堝上 方經(jīng)坩堝支持器14與發(fā)熱體16之間的間隙,以及發(fā)熱體16與保溫筒17 之間的間隙流入氣流導(dǎo)向裝置20,然后經(jīng)圖6中的氣流導(dǎo)向裝置20的一對(duì) 通氣孔2-3、通氣管19從排氣口 13排出。本實(shí)施例的氣流導(dǎo)向裝置20可有效減小爐內(nèi)空間(尤其是坩堝支持器 14下方的空間),便于排氣,且利于減少熱能和的消耗量;另外,
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