真空鍍膜設(shè)備存有著氣密性差的問題，假如鍍膜設(shè)備維護保養(yǎng)進行后，能做一次氣密性試驗，就可以規(guī)避許多不合格產(chǎn)品的造成，做到節(jié)省成本費用的效果。

有些真空鍍膜機真空計的讀數(shù)，與氣體種類有關(guān)，比如熱偶計，電離真空計。選用適當?shù)臍怏w或液體做示漏物質(zhì)，這些真空計便成了探測器，一般鍍膜機上都有真空計，使用起來很方便，也是常用到的一種檢漏方法。用于熱偶計的示漏物質(zhì)有，二氧化碳，丁烷，酒精等熱偶計反應(yīng)較慢，觀察要很仔細。用于電離計的示漏物質(zhì)有氦，氬，酒精等。

真空鍍膜機工作的環(huán)境要求：
真空鍍膜設(shè)備要在真空條件下工作，因此該設(shè)備要滿足真空對環(huán)境的要求。真空對環(huán)境的要求，一般包括真空設(shè)備對所處實驗室（或車間）的溫度、空氣中的微粒等周圍環(huán)境的要求，和對處于真空狀態(tài)或真空中的零件或表面要求兩個方面。
這兩個方面是有密切聯(lián)系的。周圍環(huán)境的好壞直接影響真空設(shè)備的正常使用；而真空設(shè)備的真空室或裝入里面的零件是否清洗，又直接影響設(shè)備的性能。如果空氣中含有大量的水蒸氣和灰塵，在真空室沒有經(jīng)過清洗的情況下用油封機械泵去抽氣，要達到預期的真空度很難的。眾所周，油封式機械泵不宜抽除對金屬有腐蝕性、對真空油其反應(yīng)的以含有顆粒塵埃的氣體。水蒸氣為可凝性氣體，當大量抽除可凝性氣體時，對泵油的污染會更加嚴重，結(jié)果使泵的極限真空下降，破壞了泵的抽氣性能。
長期回收真空鍍膜機鍍膜生產(chǎn)線設(shè)備。

真空鍍膜設(shè)備應(yīng)用十分廣泛，如今在我們的生活中到處可見，是的一項技術(shù)。但是真空鍍膜設(shè)備在使用一段時間后，表面就會留下灰塵影響真空鍍膜的整體效果。

真空鍍膜工藝在傳感器方面的運用在傳感器中，多選用那些電氣性質(zhì)相關(guān)于物理量、化學量及其變化來說，極為敏感的半導體資料。此外，其中大多數(shù)運用的是半導體的外表、界面的性質(zhì)，需求盡量增大其面積，且能工業(yè)化、低報價制造、因而選用薄膜的狀況許多。

主要由真空鍍膜機室、真空抽氣機組及電柜（控制電柜、電子槍電柜）組成，其廣泛應(yīng)用于微電子、光學成膜、民用裝飾、表面工程等領(lǐng)域。
光學鍍膜設(shè)備工作原理是在高真空狀態(tài)下、利用電子束對金屬或非金屬材料加熱到適當?shù)臏囟龋牧鲜軣岷笳舭l(fā)成蒸汽分子。它的平均自由程比蒸發(fā)源至被蒸發(fā)基片距離大，蒸發(fā)出來的蒸汽分子向四處直射，碰到基片就沉積在基片表面形成膜層。
維護與保養(yǎng)主要包換電子槍安裝與維護、光路的檢修與維護、設(shè)備的清洗與保養(yǎng)。