穩(wěn)定劑在拋光液中起到穩(wěn)定和調(diào)節(jié)pH值的作用。它能夠防止氧化鋁微粒在拋光過程中團(tuán)聚和沉積,保持拋光液的均勻性和穩(wěn)定性。同時,穩(wěn)定劑還能調(diào)節(jié)拋光液的酸堿度,以適應(yīng)不同材料的拋光需求。
在使用氧化鋁拋光液時,需要注意以下幾點:
1. 選擇適合的顆粒大小和穩(wěn)定劑類型,根據(jù)需要進(jìn)行調(diào)配。
2. 在拋光過程中,控制拋光液的溫度、濃度和拋光時間,以避免對材料造成損傷。
3. 定期檢查拋光液的質(zhì)量和穩(wěn)定性,及時更換或補(bǔ)充添加。
氧化鋁拋光液適用于金相和巖相研磨、拋光外,還適用于各種黑色和有色金屬、陶瓷、復(fù)合材料以及寶石、儀表、光學(xué)玻璃等產(chǎn)品的高光潔度表面的研磨及拋光。極細(xì)的磨料能夠得到需要的超精拋光平面。
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing,CMP)技術(shù)具有特的化學(xué)和機(jī)械相結(jié)合的效應(yīng),是在機(jī)械拋光的基礎(chǔ)上,根據(jù)所要拋光的表面,加入相應(yīng)的化學(xué)試劑,從而達(dá)到增強(qiáng)拋光和選擇性拋光的效果。化學(xué)機(jī)械拋光液的性能是影響化學(xué)機(jī)械拋光質(zhì)量和拋光效率的關(guān)鍵因素之一。拋光液一般包含氧化劑、絡(luò)合劑、表面活性劑、磨料、pH調(diào)節(jié)劑、腐蝕抑制劑等成分,各種添加劑的選擇和含量對拋光效果都會產(chǎn)生很大的影響。
納米氧化鋁拋光液具有移除速率高、懸浮分散性能好、對碳化硅晶圓表面無損傷、且表面粗糙度值極低、循環(huán)使用壽命長、易清洗、通用性好等特點,適用于半導(dǎo)體碳化硅晶圓的CMP拋光。
氧化鋁拋光液是一種應(yīng)用在金相拋光中的磨料。其實,它的作用還遠(yuǎn)不止于此。它還可以去除樣品表面肉眼不可見的表面變形層,尤其是使用高倍物鏡、偏振光、微分干涉或EBSD 技術(shù)檢測或是評定樣品時。對于一些做鑄鐵、鋼、不銹鋼、銅、聚合物、礦物質(zhì)、微電子、貴金屬等金相樣品制備的實驗室來說,氧化鋁拋光液是的一種磨料。