Gemini 3 型鏡筒介紹
Gemini 3 型鏡筒是專為表面靈敏成像領(lǐng)域 的苛刻任務(wù)而設(shè)計(jì),它確保成像在 1 kV 至 30 kV 的所有工作條件下都能達(dá)到高分 辨率。它由兩個(gè)協(xié)同工作的組件組成,即 Nano-twin 物鏡和智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)—— 它 們組成一個(gè)全新的電子光學(xué)引擎。 BSE 的優(yōu) 勢(shì)也可以為您提供良好的圖像襯度,讓您可 以從樣品中提取出盡可能多的信息。
智能自動(dòng)光路調(diào)節(jié)( Smart Autopilot)
與 Nano-twin 物鏡相結(jié)合,新的智能自動(dòng)光 路調(diào)節(jié)讓您受益于以下特點(diǎn):
? 通過聚光鏡優(yōu)化所有工作條件下的電子束 會(huì)聚角,在每種工作能量下都能獲得出色 的分辨率。
背散射電子產(chǎn)生于樣品表面之下,可提供 樣品材質(zhì)成分的襯度信息。背散射電子通 常以與入射電子束成 15 度角的圓錐狀出 射, 被 Gemini 鏡筒電子束推進(jìn)器吸入后射 到鏡筒內(nèi)。由于二次電子( SE ) 與背散射 電子( BSE ) 具有不同的能量,它們會(huì)在電 子束推進(jìn)器內(nèi)產(chǎn)生不同軌跡。