半導(dǎo)體測(cè)試探針的主要應(yīng)用領(lǐng)域包括芯片設(shè)計(jì)驗(yàn)證、晶圓測(cè)試和半導(dǎo)體成品測(cè)試。它起著連接芯片/晶圓與測(cè)試設(shè)備,并進(jìn)行信號(hào)傳輸?shù)暮诵淖饔茫瑢?duì)于半導(dǎo)體產(chǎn)品的質(zhì)量控制具有重要意義。
垂直探針可以對(duì)應(yīng)高密度信號(hào)觸點(diǎn)的待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品的細(xì)間距排列,針尖接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品所需的縱向位移可以通過(guò)針體本身的彈性變形來(lái)提供。懸臂探針為探針部提供適當(dāng)?shù)目v向位移,用于通過(guò)橫向懸臂接觸待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品,以避免探針部對(duì)待測(cè)半導(dǎo)體產(chǎn)品施加過(guò)大的針壓。
探針的選用
(1)材料:選擇材質(zhì)通常為316不銹鋼、金屬玻璃、石英玻璃、硅、玻璃鋼等。不同材料的探針具有不同的化學(xué)惰性和機(jī)械性能,對(duì)探測(cè)的液體和氣體有不同的適應(yīng)性。
(2)形狀:選擇探針的形狀應(yīng)該根據(jù)實(shí)驗(yàn)需求進(jìn)行選擇,通常探針的形狀為直棒狀、U形、Z形等。考慮到實(shí)驗(yàn)的靈敏度問(wèn)題,在選用探針時(shí)與被測(cè)物相匹配。
(3)長(zhǎng)度:探針的長(zhǎng)度是下降液面幅度的關(guān)鍵因素。為獲得準(zhǔn)確的下降水平,要根據(jù)實(shí)際測(cè)量需求選擇合適的長(zhǎng)度。
(4)直徑:探針的粗細(xì)通常采用0.5mm至5mm之間。過(guò)粗的探針會(huì)影響測(cè)量的靈敏度,過(guò)細(xì)的探針則可能會(huì)導(dǎo)致探針的折斷。
(5)表面處理:在實(shí)驗(yàn)中,探針處于探測(cè)的介質(zhì)中,探針的表面形態(tài)和性質(zhì)會(huì)直接影響到測(cè)量結(jié)果。因此,探針的表面要求經(jīng)過(guò)光潔處理和表面處理。
在收集到的鍍金探針廢料中,可能包含其他金屬和非金屬雜質(zhì)。因此,分揀是必要的步驟,以便將廢料分類(lèi)和分離。分揀可以通過(guò)人工或自動(dòng)化設(shè)備進(jìn)行。人工分揀需要經(jīng)過(guò)培訓(xùn)的工作人員,他們根據(jù)廢料的類(lèi)型和特征進(jìn)行分類(lèi)。自動(dòng)化設(shè)備可以通過(guò)傳感器和圖像識(shí)別技術(shù)自動(dòng)分揀廢料。
物理處理主要包括粉碎和篩分。,廢料被送入粉碎機(jī)進(jìn)行粉碎,使其變?yōu)檩^小的顆粒。然后,顆粒通過(guò)篩網(wǎng)進(jìn)行分級(jí),分離出不同粒度的廢料。
化學(xué)處理是提取金屬價(jià)值的關(guān)鍵步驟。一種常用的方法是浸出法。廢料顆粒被置于酸性溶液中,稀釋酸可以溶解鍍金探針中的金屬。然后,通過(guò)化學(xué)反應(yīng)和沉淀,將金屬分離出來(lái)。