廈門(mén)光刻膠 美國(guó)光刻膠
顯影液NMD-3是一種光刻膠配套試劑,主要應(yīng)用于半導(dǎo)體制造中的光刻工藝。
?主要成分?:2.38%(TMAH)水溶液
?包裝規(guī)格?:5升/瓶
?適用類(lèi)型?:適用于正、負(fù)性光刻膠的顯影,特別針對(duì)薄膠(厚度小于5μm)的顯影
?儲(chǔ)存條件?:需低溫儲(chǔ)存,通常要求在冰箱中保存
顯影液NMD-3作為光刻工藝中的關(guān)鍵化學(xué)品,具有以下技術(shù)特點(diǎn):
?顯影機(jī)制?:通過(guò)溶解曝光過(guò)程中光刻膠形成的可溶解區(qū)域,使光刻膠上的圖案清晰顯
?工藝影響?:顯影液的性能直接影響芯片的制程精度和良率,需要經(jīng)受高溫、化學(xué)腐蝕等多種極端條件的考驗(yàn)