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為了避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，進而保下驅動裝置4的工作精度，所述底座1和下驅動裝置4之間設置有減震裝置，所述下驅動裝置4的底端設置有承載板41，所述承載板41通過少兩個螺釘16固定連接在底座1上，所訴減震裝置包括與螺釘16分別一一對應的下減震橡膠墊171和上減震橡膠墊181，所述下減震橡膠墊171套裝在螺釘16的下端部，所述下減震橡膠墊171的底部和底座1抵接，所述下減震橡膠墊171的頂部和承載板41抵接，以便于通過下橡膠減震171墊吸收從外界傳來的震動，以避免下驅動裝置4受到外界震動的影響，所述上減震橡膠墊172套裝在螺釘16的上端部，且所述上減震橡膠墊172與承載板41的上端面壓接，以避免螺釘16的震動影響到承載板41。

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所述氣流導向裝置20的中軸孔2-1與該爐的石墨中軸21活 動密封連接，以防止因該中軸孔2-1與石墨中軸21之間的間隙而漏氣，影 響排氣效果，氣流導向裝置20的電極孔2-2分別與該爐的電極柱15密封連 接，以防止因該電極孔2-2與電極柱15之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的保溫 筒17密封連接，以防止因氣流導向裝置20的上端部2-4的外壁與該爐的 保溫筒17之間的間隙而漏氣，影響排氣效果。所述氣流導向裝置20各通氣孔2-3與該爐的排氣口 13通過通 氣管19相連通，以提高排氣效果。所述氣流導向裝置20由石墨制成，石墨具有強度高、抗熱震性好、耐 高溫、抗氧化、電阻系數(shù)小、耐腐蝕、易于精密機加工等優(yōu)點。分子泵回收，真空泵回收，真空流量計回收，plc編程回收，控制屏回收，離子泵回收，渦輪分子泵回收，螺桿真空泵回收，渦旋高真空泵回收，進一步提供了一種加料器旋轉驅動裝置的具體結構，所述加料器旋轉驅動裝置包括旋轉電機、旋轉絲桿、旋轉套和固定座，所述旋轉套鉸接在拖板上，所述旋轉絲桿可旋轉地支承在固定座上，所述旋轉電機安裝在固定座上，所述旋轉絲桿的一端部和旋轉電機的輸出軸相連接，所述旋轉絲桿的另一端部和旋轉套通過螺紋連接，所述加料器旋臂鉸接在拖板上，以便通過旋轉電機驅動旋轉絲桿在旋轉套內旋進旋出，使得固定座產生位移，并使固定座帶動加料器旋臂旋轉。進一步為了方便副爐室移動到取晶位，并方便副爐室的拆解、清理，連續(xù)拉晶單晶爐還包括副爐室升降驅動裝置和副爐室旋轉驅動裝置，所述所述副爐室通過副爐室旋臂連接在副爐室升降驅動裝置上，以便通過副爐室升降驅動裝置驅動副爐室旋臂升降，并通過副爐室旋臂帶動副爐室升降，所述副爐室旋轉驅動裝置連接在副爐室升降驅動裝置和副爐室旋臂之間，以便使得副爐室旋轉驅動裝置隨副爐室旋臂一起升降，并通過副爐室旋轉驅動裝置驅動副爐室旋臂旋轉，副爐室旋臂又帶動副爐室旋轉。