真空鍍膜機(jī)通常由真空腔體、加熱系統(tǒng)、蒸發(fā)源、濺射源、離子源、氣體控制系統(tǒng)和控制系統(tǒng)等組成。在真空腔體中,通過抽氣系統(tǒng)將氣體抽走,形成高真空環(huán)境。加熱系統(tǒng)用于提供蒸發(fā)源或?yàn)R射源所需的熱能,使材料蒸發(fā)或?yàn)R射到
蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)的工作原理是將材料加熱至高溫,使其蒸發(fā)成氣體,然后在真空環(huán)境中沉積在待鍍物體表面。蒸發(fā)源釋放出的蒸汽在真空室中擴(kuò)散,與待鍍物體表面發(fā)生化學(xué)反應(yīng)或物理吸附,形成薄膜。
蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、半導(dǎo)體、太陽能等領(lǐng)域,用于制備各種功能性薄膜,如反射膜、防反射膜、導(dǎo)電膜等。
在蒸發(fā)過程中,部分蒸汽會(huì)沉積在冷凝器上,形成固態(tài)材料,也可以通過回收裝置進(jìn)行回收再利用。同時(shí),為了保持真空環(huán)境,需要使用泵組進(jìn)行持續(xù)抽氣。
臥式電阻回收蒸發(fā)真空鍍膜機(jī)設(shè)備廣泛應(yīng)用于光學(xué)、電子、材料等領(lǐng)域,用于制備透明導(dǎo)電膜、光學(xué)薄膜、防反射膜等。它具有操作簡(jiǎn)便、加工、薄膜質(zhì)量好等優(yōu)點(diǎn),是現(xiàn)代工業(yè)中不可或缺的設(shè)備之一。
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